첨단 현미경을 만드는 핵심인 '에너지 분석기'를 우리 기술로 개발했습니다.

외국산 부품으로 완제품을 만드는 겉모습만 국산화가 아니라 더 우수한 성능의 현미경을 100% 국산화하는 길이 열렸습니다.

이정우 기자입니다.

[기자]
전자현미경, 이온현미경 같은 나노미터급 해상력을 가진 첨단 현미경은 소재, 부품, 바이오 분야에 꼭 필요한 장비입니다.

우리나라 연구 현장에서는 일본과 독일 등 외산 장비에 의존하는 게 현실입니다.

국내 연구진이 첨단 현미경의 정확도를 높이고, 성능도 평가할 수 있는 원천 기술을 개발했습니다.

[박인용 / 한국표준과학연구원 첨단측정장비연구소 : 전자빔 에너지 폭을 측정할 수 있는 기술로서 본 기술을 이용하게 되면 고성능 전자 현미경의 핵심 기술이기도 하고요. 반대로 이 기술을 이용해서 고성능의 전자현미경의 성능까지 평가할 수 있는 기술이라고 할 수 있습니다.]

더욱 미세해지는 반도체의 선폭을 포함해 첨단 분야에 사용하는 고성능 현미경 제조에 필수 장비인 에너지 분석기를 만든 겁니다.

연구팀은 기존 형태와 전혀 다른 원통형 전극을 개발해 에너지 분석기가 가진 구조적인 문제를 해결했다고 밝혔습니다.

이번에 개발한 장비는 세계적 수준의 성능은 물론 크기가 1/5로 작아졌고, 가격은 수백만 원대로 고가의 외산 장비를 대체할 것으로 보입니다.

[조복래 / 한국표준과학연구원 첨단측정장비연구소 : 이번에 개발한 에너지분석기를 장착해서 성능을 높이면 앞으로 반도체나 반도체 측정검사에 활발히 활용될 수 있으리라고 생각하고 있습니다.]

일본, 독일, 미국이 독점해 온 첨단 현미경 시장에 도전장을 내민 이번 연구 결과는 현미경 분야 국제 학술지 '울트라마이크로스코피'에 실렸습니다.

YTN 이정우[[email protected]]입니다.



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